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氣壓平衡式7.5代平面顯示器玻璃基板升降系統設計分析及伺服定位控制之研究

標題: 氣壓平衡式7.5代平面顯示器玻璃基板升降系統設計分析及伺服定位控制之研究
作者: 江茂雄; 陳偉杰; 謝宏村; 江友良