實驗室設備

  本實驗室為一間設備完善之潔淨室。經過數年來擴充,已具有完整晶圓加工能力。除了高毒性而需要專業人員操作之化學氣相沈積需要委外加工,其餘製程皆可在本實驗室完成。本實驗室具有一間一般實驗用潔淨室,及一間黃光室。各設備介紹如下:

濺鍍機濺鍍機
潔淨室全景(您可在照片上直接點選設備,進入該設備之介紹)

潔淨室設備

入口 濺鍍機 離子反應蝕刻機
電鍍機 氧化爐 化學清洗槽
橢圓測厚儀 表面輪廓儀 立體顯微鏡

黃光室設備

曝光機 立體顯微鏡 旋轉塗佈機
化學清洗槽

機電室設備