表面輪廓儀
廠牌： 美國
KLA-TENCOR
型號：
Alfa-Step 500
重要規格：
解析度：
13μm／1Ａ°、300μｍ／25Ａ°
掃描長度：
10mm向右、2mm向左
掃描速度：
2、5、10、20、50、100、200μｍ／s
取樣頻率：
50、100、200
Hz
