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國立台灣大學
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校友資訊 |
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儀器管理人： 賴奕蒼、林育威 同學（電話： 02-3366-3061）
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壹、儀器設備 |
- 英文名稱： High Vacuum Evaporator System
- 中文名稱： 多層氧化物金屬物質蒸鍍（沉積）系統
- 重要規格：
一、高真空腔體:
- Size：O350dia*450h(mm)
- 材質型式：SUS304，下板升降式
- 上板：可容納Substrate Holder 的 Rotation F/T
- 下板：可容納6個蒸鍍源Source，6個Shutter F/T和預留3個Crystal Sensor F/T
- 側邊：For(1)Roughing? Port (2)Vacuum Gauge Port (1)Pressure Switch(1)Vent Port (1)QCM port (1)4" View Port (1)3"View Port (2)Spare Port (1)手套箱連接口
- 附活動輪及定位腳柱架台，四側可拆卸式封蓋粉體烤漆
- 須有二組防污襯板
- Iuput/Output冷卻水排（各６組）每組獨立不銹鋼球閥並加裝冷卻水流量開關
二、真空量測系統：
- 液晶顯示並可選擇同時顯示3組真空值或單一組真空值。
- 可自由選擇讀取的範圍，ATM~10E-9 Torr。
- 多樣式Sensor組合，可依客戶需求任接派藍尼/冷陰極/熱電偶/熱離子/active strain 式感測頭。
- 設定點輸出功能由獨立控制盒配置，方便客戶選擇使用與否。
- 控制器內建軟體可依原廠釋出新產品規格，隨時更新並相容使用。
- 90~264V dc電源皆可驅動，適合各種實驗室電源配置。
三、真空排氣系統:
- 高真空機械式幫浦抽氣速率≧280L/min。
- 操作壓力＜10e-3 Torr
- 機械幫浦需有3段式氣鎮閥、2段式供油系統之功能
- 高真空幫浦要為 Cryo Pump
- Pumping Speed：
- 對Water4600 L/S
- 對N21700 L/S
- 對A1400 L/S
四、SIGMA膜厚監視器：
標準配備可同時接二個石英感測頭，選購轉接卡，最多可以擴充到六支石英感測頭。
- 可以同時顯示即時蒸鍍速率、膜厚。
- 蒸鍍速率需可顯示至Ao以下二位，即0.01Ao；蒸度速率解析度0.1Ao以下。
- 膜厚顯示解析度0.05Ao；可顯示範圍0.1Ao~99kAo。
- 可以偵測並顯示目前石英震盪片的頻率。
- 最少可以儲存9個材料參數。
- 可任選二個石英震盪膜厚計同時使用，並顯示蒸度速率和膜厚平均值。
- 須有可與電腦連線的介面。
- 感測頭可以使用5或6MHz的石英震盪片。
- 冷卻方式為水冷式。
五、蒸鍍蒸發源
- 6組共極式蒸鍍源及電源導入端子
- 每1組蒸鍍源配置1組氣動式擋板
- 每組蒸鍍源間易拆卸的防污隔板隔開
六、蒸鍍源電源供應器
- 3組交流電源供應器
- 3組Source Switch 切換
- 3組氣動式Shutter
- 3組數位式電壓/電流顯示
- 微調式電流能量輸出
- 3段式電壓範圍選擇
七、Sample載具機構
- 可放置 3片30*30mm玻璃基板
- 旋轉載具可調整轉速0~40 rpm
- MASK切換功能
- 加裝石英加熱器.加熱溫度200℃以下]
八、真空閥門
- 氣動式Bellow Valve For Foreline
- 氣動式Bellow Valve For Roughing
- 氣動式Bellow Valve For Vent(1/4"Swagelok)
- 氣動式Bellow Valve For HV(or Gate valve)
- 氣動式側掀門For N2 Box
- Solenoid Valve For Pumping Line
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Solenoid Valve For Cryo Pump Purge
九、下板升降機構馬達控制
十、控制系統
- 附活動輪19"標準儀控箱
- 排氣系統控制箱
- 操作程序程式安全互鎖保護半自動旋鈕控制
十一、冷卻水循環冰水機
- 冰凍能力：24000 BTU/HR
- 水泵浦最大流量：30 L/min
- 水箱容量：20 Liters
十二、手套箱修改和銜接舊有工作(客戶需提供手套箱1台)
- 手套箱修改開孔
- 加裝手套和View Port
- 可以搭配手套箱作測試
4. 儀器說明：
（1）購置年月：2008年11月。
貳、服務項目 |
利用此多層氧化物金屬物質蒸鍍（沉積）系統，可進行元件表面之金屬與物質的蒸鍍。 |
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參、申請服務辦法 |
預約方式 |
預約請洽管理者！
管理人員：賴奕蒼 同學（電話：3366-3061） |
開放時段 |
每日開放時間為上午9:00~下午5:00；
週一~週三中午保留學界科專成員使用；
週三下午~週五開放預約。 |
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使用資格 |
高分子所教授所指導的學生，經訓練與檢定考試通過之後，才能夠自行操作儀器。
操作辦法：
（1）若實驗室未有操作合格者，請派ㄧ位同學與儀器管理者學習操作流程，並取得合格操作資格。
（2）凡操作者須經由儀器管理者認定核可，取得操作資格，得以自行上機操作
（3）未有操作資格者，須由各實驗室已取得合格操作者陪同操作，經上機練習， 與儀器管理者申請操作資格，經核可取得操作資格，得以自行上機操作。然每位教授實驗室實際操作蒸鍍機者以兩位為限。 |
注意事項 |
儀器之使用以實驗室教授為申請單位，時間排定後有任何問題請於上機前24小時通知，否則費用照計。
每次最多可申請一個工作天，待做完後始可再預約。
蒸鍍物質，僅可為允許之金屬物質。
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肆、收費標準 |
一、校內人員
（一）高分子所 成員
•每時段1小時：500元
（二）本校其他單位人員
•每時段 1小時：1000 元
以上收費標準不包含代為操作費用。
如需操作人員代為操作，每時段 1小時： 750 元
二、校外人員
每時段 1 小時：2250 元
以上收費標準不包含代為操作費用。
如需操作人員代為操作，每時段1小時： 750 元 |
伍、聯絡人 |
＊服務聯絡人：賴奕蒼先生 (02)/3366-3061
＊儀器放置地點：台灣大學高分子科學與工程學研究所B102室 |
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