壹、儀器設備

一、場發射電子顯微鏡

1. 英文名稱：JOEL JSM-6700F Field Emission Scanning Electron Microscope

2. 中文名稱：JOEL JSM-6700F場發射掃描式電子顯微鏡

3. 重要規格：
（1）電子槍 冷陰極型式
（2）解析度 1.0 nm (15KV) 2.2 nm (1KV)
（3）電子槍真空度 10-8 Pa以下
（4）倍率 25至650,000倍
（5）加速電壓 0.5 to 30 KV
（6）探針電流 10-13 to 2×10-9 A
（7）試片大小限制 直徑Φ25 mm × 高度10 mm
（8）試片載台 中心式試片台、X-Y移動範圍:70 mm x 50 mm、旋轉範圍:360°、工作距離:1.5 mm to 25 mm、傾斜角度:-5° to +60°
（9）馬達驅動載台 3軸 (X,Y,R)
（10）影像輸出 儲存為*.bmp或 *.jpg或*.tif等電子圖檔 video printer輸出

4. 儀器說明：
（1）購置年月：2007年 3月
（2）電子顯微鏡主要是由電子槍 (Electron Gun) 發射出高加速電壓之入射電子束，經過一組磁透鏡聚焦 (Condenser Lens) 聚焦後，用遮蔽孔徑 (Condenser Aperture) 選擇電子束的尺寸(Beam Size)後，通過一組控制電子束的掃描線圈，再透過物鏡 (Objective Lens) 聚焦，打擊在試片後，產生相關二次訊號來分析各種特性，一般的二次訊號包括直射電子、散射電子、二次電子、背向散射電子、Auger電子及X射線等訊號，然後再將這些訊號經由適當之檢測器(Detector）接收後，經放大器（Amplifier）放大，然後送到顯像管（Braun Tube）上成像。掃描式電子顯微鏡由於景深（Depth of Focus）大，對於研究物體之表面結構功效特別顯著，例如材料之斷口、磨損面、塗層結構、夾雜物等之觀察研究。場發射掃描式電子顯微鏡除了跟傳統掃描式電子顯微鏡相同地可觀察物體之微結構外，它由於高電場所發射之電子束徑小，亮度高，具有傳統掃描式電子顯微鏡所明顯不及之高解析度，其解析度可高達1.0 nm(15 KV)、2.2 nm(KV)，另可在低電壓(可低至0.5 KV)下操作，具直接觀察非導體之功能。本儀器之製造廠商及型號為日本JEOL JSM-6700F冷陰極(Cold Cathode)場發射掃描式電子顯微鏡。冷陰極場發射電子槍較其他熱場發射(Thermal)及蕭基(Schottky)電子槍而言，其優點是電子束與能量散佈相當小，且在超高真空下操作，解析度佳。

貳、服務項目

各種材料（包含高分子、生醫材料、金屬、電子與陶瓷材料）試片之顯微結構觀察及照相，二次電子影像(SEI及LEI)，背向散射電子影像(BEI)，但磁性材料(含鐵、鈷、鎳成分)及粉體材料恕不受理。

參、申請服務辦法

預約方式

預約請洽管理者！
管理人員：邱昱誠、邱昭諭同學（電話： 02-3366-5316 ）

開放時段

週一至週五 上午9:00~晚上21:00，每兩小時為一個時段。假日機器保養及測試，不對外開放。

預約一般等待時間

依預約情況而定。

使用資格

依據使用者對於儀器了解程度之不同，給予A、B二種不同等級之證照。各級證照持有人使用權限範圍如下：
• A級：可完全自行操作之使用者，白天上班時間或夜間皆可使用。
• B級：可於白天上班時間使用，但僅限簡易之操作。

注意事項

• 儀器之使用以實驗室教授為申請單位，時間排定後有任何問題請於上機前一天通知取消，否則費用照計。
• 網路預約方式：每星期一0:00起可預約下星期之時段。
• 具有執照資格之同學，每次最多可申請三個單元（2小時）上機時間，待每星期三中午後，若尚有時段方可再行預約。
• 具有磁性材料(含鐵、鈷、鎳成分)及粉體之材料，恕不受理。
• 由於電子槍須在超高真空下操作，為防止試片上吸附水氣及雜物影響觀察，試片最好加熱烘烤後，再置入試片室中，因此無法烘烤之試片請事先說明。未處理之試片可能無法觀察到超高解析影像。
• 生物試片請先自行脫水乾燥。
• 不導電或低導電性材料可先使用白金濺鍍機濺鍍。
• 使用者有義務 保持整個儀器室及機件周邊之清潔。
• 使用記錄簿請確實填寫。
• 請使用光碟燒錄或全新隨身碟存取電子檔，以防隨身碟病毒入侵電腦系統

肆、收費標準

一、校內人員

（一）  高分子所/化工系(所)成員
•  每時段 2小時： 1000 元
•  白金濺鍍機：每30秒 200元累計，不足以30秒計費
•  video printer輸出：每張 100 元
•  影像檔：每一影像檔 20 元

（二）本校其他單位人員
•  每時段 2小時： 2000 元
•  白金濺鍍機：每30秒 400元累計，不足以30秒計費
•  video printer輸出：每張 100 元
•  影像檔：每一影像檔 20 元

（三）以上收費標準不包含代為操作費用。如需操作人員代為操作，每時段 2小時： 1500 元

二、校外人員
•  每時段 2 小時： 4500 元
•  白金濺鍍機：每30秒 600元累計，不足以30秒計費
•  video printer輸出：每張 100 元
• 影像檔：每一影像檔 20 元•

備註：EDX收費標準
一、校內人員
（一）  高分子所：若需使用EDX分析，每點加收100元。
（二）本校其他單位人員 ：若需使用EDX分析，每點加收300元。
二、校外人員：EDX分析每點加收：500元

伍、預期回件時間

實驗當天將底片或結果取回。

陸、聯絡人

＊FE-SEM服務聯絡人：邱昱誠、邱昭諭同學 (02)3366-3061、(02)3366-5316

＊負責教授及連絡電話：
• 陳文章 教授 （02）2362-8398, 3366-5236
• 蔡豐羽 教授 （02）3366-5302

＊儀器放置地點：台灣大學高分子科學與工程學研究所B101室

＊當您使用過本儀器後若有任何建議或有所批評指教的地方，請向負責教授反應，謝謝。

柒、管理委員會

第一條：管理委員會之產生

• 本委員會設委員八人，所長為當然委員，其餘人由所長提名經所務會議同意組成，現任所長為本委員會召集人。
• 本委員會之委員任期為二年，得連任之。

第二條：成員

• 召集人：陳文章教授
• 管理委員：高分子所長、陳立仁教授、何國川教授、謝國煌教授、陳文章教授、林江珍教授、林金福教授、蔡豐羽教授。
• 技術人員：十一位具有A級認證資格之FE-SEM助教。

第三條：工作要點

• 本委員會每學期至少開會一次，須有三分之二以上委員出席始得開會，二分之一以上出席委員同意，始得作出決議。
• 本委員會負責處理下列事務：
• 貴重儀器設備管理辦法之制訂與修訂。
• 貴重儀器設備之管理。
• 貴重儀器設備使用糾紛之協調與仲裁。
• 貴重儀器設備收費標準之制定與修訂。
• 對違反儀器設備管理辦法及實驗室安全之處分建議。