場發射掃描式電子顯微鏡2(FESEM)

Hitachi SU7000

主要規格

1. 場發射掃瞄電子顯微鏡FEG-SEM(Hitachi SU7000)

2. 背散射電子繞射偵測器EBSD(AZtecHKL Symmetry S3)

3. 能量分散光譜儀EDS(AZtecLive with Ultim Max170)。

主要功能

1. 先進材料之顯微組織觀察、大晶粒結構鑑定、成份分析。

2. FEG-SEM：材料之顯微結構觀察。

3. 能量分散光譜儀EDS：試片元素之定性、半定量、面及線掃瞄分析。

4. 背散射電子繞射偵測儀EBSD：相鑑定、晶體取向差異、次晶粒粒徑量測、micro texture、材料晶粒間關係之研究。

申請服務辦法

1. 請到臺大材料系預約系統中預約

2. 每月25日10:00開始開放下個月的預約時段，當月有空檔隨時可預約。

3. 底色為橘色時段代表有專人陪同，其他時段需自行操作。

4. 取消預約需在二天前自行上網取消，否則除非特殊狀況(如天災)費用照計。

注意事項

1. 試片之製作由使用者自理，樣品需乾燥且乾淨，在真空中無揮發性，不接受生物試片及磁性粉末(如含鐵、鈷、鎳)。

2. 試片在電子束照射下會分解、釋放氣體或成為液體之樣品，因有礙必要之真空維持，恕不受理。

3. 樣品需導電，不導電之樣品需經鍍碳、鍍金或鍍白金處理。

4. 樣品最好呈塊狀，直徑最大200mm，且高度小於80mm，EBSD樣品需拋光平整無刮痕，直徑不可超過10mm。

5. 初次使用者，樣品準備最好先和技術員討論。

6. 磁性塊材試片請於使用時段再次告知技術員，以做正確的處置

收費標準

基本費用(每小時) ：

材料系內自行操作:使用費200元，試片加工費(含諮詢服務)300元。

材料系內陪同操作:使用費200元，試片加工費(含諮詢服務)450元，陪同操作費450元。

工學院內陪同操作:使用費200元，試片加工費(含諮詢服務)850元，陪同操作費450元。

校內其它學院陪同操作:使用費200元，試片加工費(含諮詢服務)850元，陪同操作費450元。

校外研究單位陪同操作:使用費200元，試片加工費(含諮詢服務)2550元，陪同操作費450元。

廠商陪同操作:使用費200元，試片加工費(含諮詢服務)2550元，陪同操作費450元。

聯絡方式

負責教授：周苡嘉教授 02-33661311 E-mail：ycchou@ntu.edu.tw

技術員：陳學人先生02-33661348 E-mail：chenhr@ntu.edu.tw

儀器放置地點：台灣大學工學院綜合大樓138室

壹、儀器由技術人員負責維護操作，除經鑑定合格者可自行操作外，其他人不得自行操作。

貳、本儀器自行操作資格分為二級，A級操作者:能夠掌控一切事務，可於任何時間自行操作，唯夜間及假日必須事先向技術員提出申請，經指導教授同意後方可使用儀器。B級操作者:了解基本操作及緊急應變措施，只能在上班時間自行操作儀器。

參、B級操作者

一、須具備大學四年級(含)以上身分，並有NovaSEM或Jeol 7800操作執照。

二、須修過電子顯微鏡學、晶体結構或繞射學等相關課程及格(60分以上)，對SEM有基本概念。

三、詳讀SU700操作手冊及實際上機操作訓練9個小時後可申請鑑定，測驗成績在70分以上者，給予B級自行操作執照。

四、不通過者須重新接受上機操作訓練6小時，且至少隔一個月才可再考。

肆、A級操作者

一、在取得B級執照後，且使用自行操作時段達9小時，無不良記錄者，可申請A級執照鑑定，鑑定合格，取得A級自行操作執照資格

二、取得A級自行操作執照資格後6個月內，無使用儀器者，自動降為B級。

伍、鑑定時間上班日(星期三)14~17點，由受鑑定者與技術員約定。