高解析場發射掃描式電子顯微鏡1(FESEM)

FEI Nova NanoSEM 450

主要規格

Electron SourceSchottky(蕭特基) Field Emission

能量分散光譜儀EDSOXFORD X-MAX 50mm

主要功能

場發射掃描式電子顯微鏡:先進材料之顯微組織影像觀察。

能量分散光譜儀EDS:試片元素之定性、半定量、面及線掃瞄分析。

申請服務辦法

1.    請到臺大材料系預約系統中預約

2.    每月2510:00開始開放下個月的預約時段,當月有空檔隨時可預約。

3.    底色為色時段代表有專人陪同,其他時段需自行操作。

4.    取消預約需在二天前自行上網取消,否則除非特殊狀況(如天災)費用照計

注意事項

1.    試片之製作由使用者自理,樣品需乾燥且乾淨,在真空中無揮發性,不接受生物試片及磁性粉末(如含鐵、鈷、鎳)

2.    試片在電子束照射下會分解、釋放氣體或成為液體之樣品,因有礙必要之真空維持,恕不受理。

3.    樣品需導電,不導電之樣品需經鍍碳、鍍金或鍍白金處理。

4.    初次使用者,樣品準備最好先和技術員討論。

5.    磁性塊材試片,可置入本機,但不可開啓immersion(非常重要)

收費標準

材料系內自行操作:400

材料系內陪同操作:850元。

工學院內陪同操作:1200

校內其它學院陪同操作:1200元。

校外研究單位陪同操作:3200元。

廠商陪同操作:3200元。

聯絡方式

負責教授:高振宏 教授  02-33663745  E-mailcrkao@ntu.edu.tw

技術員:陳學人 先生02-33661348   E-mailchenhr@ntu.edu.tw

儀器放置地點:台灣大學工學院綜合大樓130-1

自行操作鑑定辦法

壹、本儀器自行操作資格分為二級:
一級操作者:能安全並正確的使用SEMEDSEBSD及緊急應變措施,可於任何時間自行操作,唯夜間及假日必須事先向技術員提出申請,經指導教授同意後方可使用儀器。
二級操作者: 能安全並正確的使用SEMEDS及緊急應變措施,可於任何時間自行操作,唯夜間及假日必須事先向技術員提出申請,經指導教授同意後方可使用儀器。

貳、參加鑑定資格

一、具有臺大材料系學生身分。

二、需有其他SEM (例如JEOL 6510)執照。

三、需先由二位NOVA 450助教教學(不能同一人)各一個時段。之後可由具備License 之人員陪同操作,累積時數。並在實驗紀錄簿上註明自行操作之時數。

四、時數累積方式,以3個月內為主,若超過時間,則重新計算。

五、SEM機台操作,自行操作需達8小時以上之使用時數。欲考EBSD,則SEM+EBSD機台操作,自行操作需達12小時以上之使用時數。(以計費登記簿為)。

參、鑑定時間由受鑑定者與技術員約定。

肆、考試方式:

一、筆試:問答題,需達滿分,一週後再進行機台操作考核。考試時間以09:00-12:00/14:00-17:00(Mon.-Fri.) 為主。若無法一次通過,需下周才能再考。

二、一級操作者: 口述並操作機台。以熟練為主(限時1小時)

1.    安全性(60%)  口述說明並同時操作。 檢查紀錄本、檢查儀器、試片準備(10%)、置入試片(10%)、取出試片(10%) WD(工作距離)(30%)

2.    熟練度(40%) 試片位置、調焦(5%)CBSEDS、特殊時段規定、基本故障排除、紀錄簿登記(5%)

三、二級操作者:  筆試通過後,口述並操作SEM+EBSD機台,限時1.5小時。或是一級操作者通過後,加考EBSD 限時0.5小時。

取得自行操作執照資格後6個月內,無使用儀器者,資格取消,需重新鑑定,才能夠再取得資格。