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高解析場發射掃描式電子顯微鏡1(FESEM) FEI Nova NanoSEM 450
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主要規格 |
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Electron
Source:
Schottky(蕭特基) Field Emission 能量分散光譜儀EDS:OXFORD X-MAX 50mm |
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主要功能 |
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場發射掃描式電子顯微鏡:先進材料之顯微組織影像觀察。 能量分散光譜儀EDS:試片元素之定性、半定量、面及線掃瞄分析。 |
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申請服務辦法 |
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1.
請到臺大材料系預約系統中預約 2.
每月25日10:00開始開放下個月的預約時段,當月有空檔隨時可預約。 3.
底色為橘色時段代表有專人陪同,其他時段需自行操作。 4.
取消預約需在二天前自行上網取消,否則除非特殊狀況(如天災)費用照計。 |
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注意事項 |
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1.
試片之製作由使用者自理,樣品需乾燥且乾淨,在真空中無揮發性,不接受生物試片及磁性粉末(如含鐵、鈷、鎳)。 2.
試片在電子束照射下會分解、釋放氣體或成為液體之樣品,因有礙必要之真空維持,恕不受理。 3.
樣品需導電,不導電之樣品需經鍍碳、鍍金或鍍白金處理。 4.
初次使用者,樣品準備最好先和技術員討論。 5.
磁性塊材試片,可置入本機,但不可開啓immersion(非常重要) 。 |
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收費標準 |
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材料系內自行操作:400元 材料系內陪同操作:850元。 工學院內陪同操作:1200元 校內其它學院陪同操作:1200元。 校外研究單位陪同操作:3200元。 廠商陪同操作:3200元。 |
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聯絡方式 |
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負責教授:高振宏
教授 02-33663745 E-mail:crkao@ntu.edu.tw 技術員:陳學人
先生02-33661348
E-mail:chenhr@ntu.edu.tw 儀器放置地點:台灣大學工學院綜合大樓130-1室 |
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壹、本儀器自行操作資格分為二級: 貳、參加鑑定資格 一、具有臺大材料系學生身分。 二、需有其他SEM (例如JEOL 6510)執照。 三、需先由二位NOVA 450助教教學(不能同一人)各一個時段。之後可由具備License 之人員陪同操作,累積時數。並在實驗紀錄簿上註明自行操作之時數。 四、時數累積方式,以3個月內為主,若超過時間,則重新計算。 五、SEM機台操作,自行操作需達8小時以上之使用時數。欲考EBSD,則SEM+EBSD機台操作,自行操作需達12小時以上之使用時數。(以計費登記簿為準)。 參、鑑定時間由受鑑定者與技術員約定。
肆、考試方式: 一、筆試:問答題,需達滿分,一週後再進行機台操作考核。考試時間以09:00-12:00/14:00-17:00(Mon.-Fri.) 為主。若無法一次通過,需下周才能再考。 二、一級操作者: 口述並操作機台。以熟練為主(限時1小時)。 1. 安全性(60%) 口述說明並同時操作。
檢查紀錄本、檢查儀器、試片準備(10%)、置入試片(10%)、取出試片(10%) 、WD(工作距離)(30%)
2. 熟練度(40%) 試片位置、調焦(5%)、CBS、EDS、特殊時段規定、基本故障排除、紀錄簿登記(5%) 三、二級操作者: 筆試通過後,口述並操作SEM+EBSD機台,限時1.5小時。或是一級操作者通過後,加考EBSD 限時0.5小時。 取得自行操作執照資格後6個月內,無使用儀器者,資格取消,需重新鑑定,才能夠再取得資格。 |