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聚焦離子束與電子束顯微系統2(FIB-FESEM) Hitachi Ethos NX5200
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主要規格 |
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1. 離子源：液態金屬鎵離子(0.5~30kV) 2. 電子源：冷場發射式電子槍(0.1~30kV) 3. 試片座傾斜角度: -10度~59度 4. 工作距離: 4mm 5. MGS系統: 提供碳、白金和鎢三種氣體沉積 6. 吸針MPS系統 7. 四組偵測器混合或單一成像： l
二次電子偵測器(in-column upper/chamber mounted lower) l
背向二次電子偵測器(in-column lower/in-column upper) |
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主要功能 |
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1. 特定區域TEM試片製作。 2. 試片加工修補或切割。 3.
離子轟擊試片表面產生的二次電子影像。 |
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申請服務辦法 |
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1. 請到臺大材料系預約系統中預約 2. 每月25日10:00開始開放下個月的預約時段，當月有空檔隨時可預約。 3. 底色為橘色時段代表有專人陪同，其他時段需自行操作。 4. 取消預約需在二天前自行上網取消，否則除非特殊狀況(如天災)費用照計。 |
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注意事項 |
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樣品規定或限制: l
欲製作TEM試片規格：直徑2.5cm ，高度0.5cm以下，同個試片的表面高低差不能大於50um，若為特殊尺寸，應事先與技術人員聯繫確認是否適合進行實驗。EBSD試片規格：直徑1.3cm ，高度0.5cm以下。 l
限制使用FIB機台之材料： (1) 強磁性材料不能進入。 (2) 有機物、高分子、粉末等電子束照射下會分解或釋出氣體材料不能進入。 (3) 低熔點的物質(熔點小於攝氏230度)不能進入。 (4) 於E-beam照射下，影像會出現扭曲變形(fuzzy)材料不能進入。 (5) 粉末不能進入。 |
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收費標準 |
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1. 材料系內自行操作:1500元/小時 2. 材料系內陪同操作:2000元/小時 3. 校內陪同操作:2400元/小時 4. 校外研究單位:3500元/小時 5. 校外廠商:6000元/小時 6. 一個Nanomesh新台幣800元 |
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聯絡方式 |
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負責教授：顏鴻威教授 02-33661327 技術員：陳曉萱 小姐 02-33661335 E-Mail:chenhh23763@ntu.edu.tw 儀器放置地點：台灣大學工學院綜合大樓130室 |
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壹、本儀器自行操作資格分為二級: 一級操作者:能夠完整安全操作儀器並掌握低電壓離子束的使用、MPS的安全操作和氬離子束操作，可於任何時間自行操作，唯夜間及假日必須事先向技術員提出申請，經指導教授同意後方可使用儀器。 二級操作者:了解電子束和離子束的基本操作及緊急應變措施，可於任何時間自行操作，唯夜間及假日必須事先向技術員提出申請，經指導教授同意後方可使用儀器。 貳、參加鑑定資格 一、具有臺大材料系學生身分。 二、因需要出色的對焦能力，故需備有SEM操作經驗。 三、接受陪同操作滿12小時。（以計費登記簿為準）。 參、鑑定時間由受鑑定者與技術員約定。 肆、考試： 一、80分以上及格。 二、一級操作者:考試分為A(機台校正以及電子束和離子束的操作)和C(TEM試片製作)部分，為時2+3個小時。取得一級自行操作執照資格後6個月內，無使用儀器者，資格取消，需重新鑑定(考試C部分)，才能夠再取得資格。二級操作者:考試內容為B：機台校正、電子束和離子束的基礎使用、截面切割拍照，考試時間3小時 三、評分標準： 1.儀器操作：90％，重大錯誤(有損儀器可能或是製備試片失敗)每次 扣30分。較小錯誤(無害儀器可能)每次扣5~10分。 2.純熟度：10％ |
