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聚焦離子束與電子束顯微系統1(FIB-FESEM) FEI Helios NanoLab 600i
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主要規格 |
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1. 離子源：液態金屬鎵離子(0.5~30kV) 2. 電子源：熱場發射式電子槍(0.2~30kV) 3. 試片座傾斜角度: -10度~60度 4. 工作距離: 4mm 5. GIS系統: 提供碳、白金和二氧化矽三種氣體沉積 6. 吸針系統：In-situ lift-out system
by omniprobe 400 7. 偵測器： l ETD(二次電子偵測器)/TLD(試片不可含有鐵鈷鎳) (二次電子偵測器)/CBS(背向二次電子偵測器) l EDS (Ultim
Max 170 and Ultim Extreme) 成分分析 l EBSD(Symmetry2) 結構分析 |
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主要功能 |
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1. 特定區域TEM試片製作。 2. 試片加工修補或切割。 3.
離子轟擊試片表面產生的二次電子影像。 |
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申請服務辦法 |
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1. 請到臺大材料系預約系統中預約 2. 每月25日10:00開始開放下個月的預約時段，當月有空檔隨時可預約。 3. 底色為橘色時段代表有專人陪同，其他時段需自行操作。 4. 取消預約需在二天前自行上網取消，否則除非特殊狀況(如天災)費用照計。 |
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注意事項 |
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樣品規定或限制: l
欲製作TEM試片規格：直徑2.5cm ，高度0.5cm以下，若為特殊尺寸，應事先與技術人員聯繫確認是否適合進行實驗。 l
EBSD試片規格：直徑1.3cm ，高度0.5cm以下。 l
限制使用FIB機台之材料： (1) 強磁性材料不能進入。 (2) 有機物、高分子、粉末等電子束照射下會分解或釋出氣體材料不能進入。 (3) 低熔點的物質(熔點小於攝氏230度)不能進入。 (4) 於E-beam照射下，影像會出現扭曲變形(fuzzy)材料不能進入。 (5) 粉末不能進入。 |
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收費標準 |
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1. 材料系內自行操作:1400元/小時 2. 材料系內陪同操作:1850元/小時 3. 校內自行操作:1800元/小時 4. 校內陪同操作:2400元/小時 5. 校外研究單位:3500元/小時 6. 校外廠商:6000元/小時 7. 一個銅環新台幣200元，一個鉬環新台幣600元 |
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聯絡方式 |
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負責教授：顏鴻威教授 02-33661327 技術員：陳曉萱 小姐 02-33661335 E-Mail:chenhh23763@ntu.edu.tw 儀器放置地點：台灣大學工學院綜合大樓130室 |
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壹、本儀器自行操作資格分為二級: 一級操作者:能夠完整安全操作儀器並切出可使用的TEM試片，可於任何時間自行操作，唯夜間及假日必須事先向技術員提出申請，經指導教授同意後方可使用儀器。 二級操作者:了解電子束的基本操作、緊急應變措施、並可正確操作Aztec軟體EDS功能，只能在上班時間自行操作儀器。 貳、參加鑑定資格 一、具有臺大工學院學生身分。 二、因需要出色的對焦能力，故需備有SEM操作經驗。 三、接受陪同操作滿12小時。（以計費登記簿為準）。 參、鑑定時間由受鑑定者與技術員約定。 肆、考試： 一、80分以上及格。 二、一級操作者:考試包含電子束和離子束的操作和TEM試片製作兩部分，為時3個小時。取得一級自行操作執照資格後6個月內，無使用儀器者，資格取消，需重新鑑定才能夠再取得資格。二級操作者:考試內容為電子束基礎操作、緊急應變措施和Aztec軟體EDS全部功能包含正確操作Feature，考試時間3小時。 三、評分標準： 1.儀器操作：90％，重大錯誤(有損儀器可能或是製備試片失敗)每次 扣30分。較小錯誤(無害儀器可能)每次扣5~10分。 2.純熟度：10％ |
