場發射電子微探儀 EPMA000300 (FEEPMA)
JEOL JXA-8530F Plus

主要規格

1.電子槍:場發射式電子槍

2.加速電壓:1kV~30kV

3.倍率：ｘ40至ｘ300,000（工作距離11mm）

4.影像模式:二次電子像、背向電子像

5.二次電子影像解析度: 3 nm at WD 11 mm, 30 kV

20 nm at 10 kV, 10 nA, WD 11 mm

50 nm at 10 kV, 100 nA, WD 11 mm

6.探針電流:X10-10A~5X10-6A，穩定度: ± 0.3%/h

7.分析設備:四組WDS(8個分析晶體)，可分析範圍4Be∼92U，
一組EDS，可分析範圍5B∼92U

8.配備鍍碳機

主要功能

1.顯微組織觀察(二次電子像、背向電子像)

2.WDS及EDS元素定性分析

3.WDS及EDS元素定量分析

4.WDS及EDS元素分佈線掃描及面掃描分析

5.鍍碳

申請服務辦法

1.請到國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約。

2.每月22日13:00開始開放下個月的預約時段，當月有空檔可隨時預約，

3.本儀器在系統中編號為台大貴儀-- EPMA000300場發射電子微探儀。

4.預約以計畫為單位，每個計畫最多可申請2~5個時段，依照預約人數多寡適時調整。

注意事項

1.預約成功後想取消預約，請於7天前自行取消預約，否則繳基本費用。例如預約7/14(星期一)，7/7(星期一)是最後可自行取消的日子。

2.請提前30分鐘左右到實驗室處理樣品。

3.樣品兩面必須平行，直徑最大33mm，最高14mm。

4.EPMA分析時能量高，試片在電子束照射下會分解、釋放氣體或成為液體之樣品(如高分子材料)，因有礙必要之真空維持，恕不受理。

5.冷鑲埋對機台有所危害，因此除低熔點材料外不可使用冷鑲埋，如需使用冷鑲埋僅可用相等於或高於struer epofix等級之冷鑲埋劑(固化時間約6~8小時)，且實驗過程中不得照射到冷鑲埋區域(例如面掃描及線掃描實驗禁止涵蓋到冷鑲埋區域)，否則不予接受實驗，表面亦需鍍碳處理，第一次請提供冷鑲埋劑廠牌總類等資料，以供確認。

6.粉末試片須壓錠或熱鑲埋後研磨拋光。

7.樣品需導電，不導電之樣品只能鍍碳處理。（鍍碳可於現場處理）

8.有些元素因為沒有標準試片，無法做準確的定量分析，請先察看服務項目中現有的標準試片，如果沒有須自備

9.初次使用者，樣品準備最好先和技術員討論。

收費標準

收費項目	收費 單位	計畫 預約	非計畫 預約	自行操作 計畫預約	自行操作 非計畫預約
FEEPMA有致謝者	小時	480	5500	360	5500
FEEPMA每小時收費	小時	600	5500	480	5500
預約不到	小時	200	1500	200	1500
鍍碳	次	50	400	50	400

聯絡方式

負責教授：林新智 教授 02-33664532 E-Mail: hclinntu@ntu.edu.tw

技術員：高崇源 先生 02-33665241 E-Mail:kcyuant@ntu.edu.tw

儀器放置地點：台灣大學工學院綜合大樓122-4室

自行操作鑑定辦法

壹、本儀器自行操作資格分為二級，A級操作者:能夠掌控一切事務，可於任何時間自行操作，唯夜間及假日必須事先向技術員提出申請，經指導教授同意後方可使用儀器。B級操作者:了解基本操作及緊急應變措施，只能在上班時間自行操作儀器。

貳、B級操作者

一、須具備碩士班(含)以上身分。

二、須修過電子顯微鏡學或X光學等相關課程及格(70分以上)，對EPMA有基本概念。

三、詳讀EPMA操作手冊及實際上機操作訓練12個小時後可申請鑑定，測驗成績在70分以上者，給予B級自行操作執照。

四、不通過者須重新接受上機操作訓練6小時，且至少隔一個月才可再考。

五、取得B級自行操作執照資格後6個月內，無使用儀器者，資格取消，需重新接受上機訓練3小時並重新鑑定，才能夠再取得資格。

參、A級操作者

一、在取得B級執照後，且使用自行操作時段達9小時，無不良記錄者，可申請A級執照鑑定，鑑定合格，取得A級自行操作執照資格

二、取得A級自行操作執照資格後6個月內，無使用儀器者，自動降為B級。

肆、鑑定時間由受鑑定者與技術員約定。