場發射歐傑電子能譜儀(Auger)
JEOL JAMP-9510F

主要規格

電子顯微鏡系統

電子源:場發射電子槍

加速電壓:0.5~30kV

二次電子影像解析度: 3nm（25kV,10pA）

歐傑分析探針直徑: 8奈米（25kV，1nA）

探針電流:10-11~2X10-7 A

倍率: x 25 to 500,000

歐傑分析系統

分析器:靜電半球分析儀(Electrostatic hemispherical analyzer，HSA)

能量解析度（ΔE/E）: 0.05~0.6%

靈敏度: 840,000 cps/7 ch or more(at 10 kV 10 nA Cu-LMN, 0.6% resolution, 60tilt)

主要功能

1.材料表面顯微組織觀察(SEI、BEI)

2.材料表面歐傑電子能譜定性及定量分析。

3.材料表面歐傑電子能譜成份分佈觀察(面掃瞄及線掃瞄)。

4.利用氬離子束系統，可進行材料縱深能譜分析(薄膜厚度量測)。

5.化態分析

申請服務辦法

1.請到臺大材料系預約系統中預約

2.每月25日10:00開始開放下個月的預約時段，當月有空檔可隨時預約。

3.底色為橘色時段代表有專人陪同，其他時段需自行操作。

4.取消預約需在二天前自行上網取消，否則除非特殊狀況(如天災)，費用照計。

注意事項

1.Tilt 0度時,不可移動Z軸.

Holder Size (直徑)	最大傾斜角度 (Tilt)	樣品容許厚度 (Thickness)	背向電子(RBED) 使用時的最大Tilt角度	Auger分析 最佳角度
12mm	90	4mm	小於30度	30、60、75
20mm	55	5mm	不能傾斜	30
Cross section Holder	60	4mm	不能傾斜	30、60
90mm(選配)	55	2mm	不能傾斜	30

2.汙染樣品禁止進入機台

收費標準

1.材料系內自行操作:500元/小時

2.材料系內陪同操作:950元/小時

3.工學院內陪同操作:1000元/小時

3.校內其他學院陪同操作:1000元/小時

4.校外研究單位陪同操作:1500元/小時

5.廠商陪同操作:3000元/小時

聯絡方式

負責教授：黃晧庭 教授 02-33662732 E-Mail: hawtynghuang@ntu.edu.tw

技術員：高崇源 先生 02-33665241 E-Mail:kcyuan@ntu.edu.tw

儀器放置地點：台灣大學工學院綜合大樓B36-1室

自行操作鑑定辦法

壹、通過本儀器自行操作資格:能夠掌控一切事務，可於任何時間自行操作，唯夜間及假日必須事先向技術員提出申請，經指導教授同意後方可使用儀器。

貳、參加鑑定資格為須接受陪同操作滿6小時。（以計費登記簿為準）。

參、鑑定時間由受鑑者提出，再由技術員(或儀器助教)安排。

肆、70分(含)以下不及格，不通過者須重新接受上機操作訓練6小時，才可再考。