場發射掃描式電子顯微鏡 EM003900 (FESEM)
JEOL JSM-7800F Prime+EDS+EBSD

主要規格

1.電子槍:場發射式電子槍

2.加速電壓:0.01kV~30kV

3.探針電流:數pA~500nA

4.影像解析度:0.7nm(15kV)、0.7nm(1kV)、3.0nm(5kV、WD10mm、5nA)

5.倍率：× 5 to × 300,000 (on 128 mm × 96 mm image size)

6.偵測器: 上電子探測器（UED、USD）、下電子探測器（LED）、背向電子偵測器（BED）

7.影像模式:二次電子像、背向電子像

8.載台:5軸馬達驅動平台，X：70mm，Y：50mm，WD：2mm~25mm，傾斜：-5°~70°，旋轉：360°

9.配備能量分散光譜儀(EDS)

10.配備電子背散射衍射系統(EBSD)

11.配備鍍白金機

主要功能

1.顯微組織觀察(二次電子像、背向電子像)

2.EDS定性分析

3.EDS半定量分析

4.EDS線掃描及面掃描分析

5.EBSD面掃描分析

6.鍍白金

申請服務辦法

1.請到國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約。

2.每月23日10:00開始開放下個月的預約時段，當月有空檔可隨時預約。

3.本儀器在系統中編號為台大貴儀--EM0039 場發射鎗掃描式電子顯微鏡

4.預約以計畫為單位，每個計畫最多可申請2個時段，待做完後始可再預約，為實際需要且避免以人頭排隊，上機時申請人需到場，申請人未到恕不服務。

注意事項

1.取消預約請於2天前自行取消，預約未到均收600元基本費。

2.試片之製作由使用者自理，樣品需乾燥，在真空中無揮發性，不接受生物試片及磁性粉末。

3.試片在電子束照射下會分解、釋放氣體或成為液體之樣品，因有礙必要之真空 維持，恕不受理。

4.樣品需導電，不導電之樣品需經鍍碳、鍍金或鍍白金處理。

5.樣品最好呈塊狀，兩面必須平行，直徑最大50mm，EBSD不可超過10mm³。

6.初次使用者，樣品準備最好先和技術員討論。

7.磁性塊材試片請於使用時段再次告知技術員，以做正確的處置。

收費標準

收費項目	收費 單位	計畫 預約	非計畫 預約	自行操作 計畫預約	自行操作 非計畫預約
附屬設備加收費-EDS.	小時	100	0	70	0
附屬設備加收費EDS.-致謝優惠	小時	80	0	50	0
附屬設備加收費-EBSD.	小時	200	0	140	0
附屬設備加收費EBSD.-致謝優惠	小時	160	0	100	0
基本收費	小時	600	5000	600	5000
場發射鎗掃描式電子顯微鏡	小時	600	5000	420	5000
場發射鎗掃描式電子顯微鏡-致謝優惠	小時	480	5000	300	5000
試片前處理-鍍白金.CP	次	100	1000	100	1000

聯絡方式

負責教授：林招松 教授 02-33665240 E-Mail:csclin@ntu.edu.tw

技術員：李苑慈 小姐 02-33661338 E-Mail:leeyt@ntu.edu.tw

儀器放置地點：台灣大學工學院綜合大樓130-1室

自行操作鑑定辦法

壹、獲得本儀器自行操作資格者代表能夠掌控一切事務，可自行操作，但須事先預約方可使用儀器，若有違反公告事項或儀器發生問題，技術員有權力可以取消該時段預約，請預約者隨時注意。

貳、報考資格

一、教育訓練只針對所有研究單位開放。二、需瞭解 SEM 操作方法及基本原理。

三、經由技術員、助教或有執照同學陪同下操作滿 9 小時後方可申請鑑定，測驗成績在70 分(不含)以上者，給予自行操作執照。

參、測驗方式

考試為上機考試。

評分重點:操作不能傷害到儀器、了解儀器所有功能的基本知識以及操作純熟度。全部通過才能發給執照

肆、取得自行操作執照資格後 3 個月內，無使用儀器者，資格取消，需重新鑑定，才能夠再取得資格。

伍、鑑定時間由受鑑定者與技術員約定。